超高纯气体是指经过特殊处理和提纯，纯度高于99.999%的气体。它们在现代工业和科学研究中有着广泛的应用，主要作用如下：
半导体工业：超高纯气体在半导体工业中用于制造和清洗半导体器件，可以提高器件的性能和稳定性。
光纤工业：超高纯气体在光纤工业中用于制造和清洗光纤，可以提高光纤的性能和稳定性。
光伏工业：超高纯气体在光伏工业中用于制造和清洗太阳能电池片，可以提高电池片的性能和稳定性。
化学气相沉积：超高纯气体在化学气相沉积中用于制造薄膜，可以提高薄膜的性能和稳定性。
气体检测：超高纯气体在气体检测中用于标定气体检测仪器，可以提高仪器的准确性和稳定性。因此，超高纯气体在现代工业和科学研究中有着广泛的应用，可以提高产品的性能和稳定性，提高生产效率和质量。
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